EOM semiconductores y optomecánicos

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Las soluciones SiC de BOOSTEC® se utilizan donde se requiere ultraprecisión, en:

  • Procesos industriales con semiconductores.
  • Máquinas de litografía extrema ultravioleta.
  • Instrumentos de medición avanzada para superficies ópticas.
  • Ultra-alto vacío.
  • Equipo científico.

Solución SiC de Boostec®

  • Opciones de configuración de solución SiC de Boostec® abiertas.
  • Elevada resistencia mecánica y ausencia de agotamiento mecánico.
  • Isotropía excelente del material de SiC.
  • Acabado pulible perfecto que puede usarse como referencia óptica.
  • Estabilidad perfecta a lo largo del tiempo.
  • Hermético frente a agua y gas, sin desgasificación, sin absorción de humedad.
  • Resistencia al desgaste.

Experiencia en fabricación y diseño de Boostec

  • Experiencia única en fabricación de estructuras ultraestables de 3 metros.
  • Posibilidad de solución integrada en una pieza única: sistema de cojinetes, refrigeración con canales internos, espejo.
  • Desde piezas monolíticas de SiC hasta montajes complejos, Mersen Boostec fabrica bancos, placas base, vigas, estructuras deslizantes muy estables para mandriles con posicionamiento rápido y preciso.

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