Equipo de proceso semiconductor

grafito de alta pureza Mersen
Epitaxy y MOCVD grafito Mersen
fine grain graphite Mersen
semicondutor equipment Mersen

Herramientas de grafito de alta pureza en semiconductores, semiconductores compuestos e industria fotovoltaica.

Epitaxy y MOCVD:

Para fases de sedimentación de película delgada como epitaxy o MOCVD, Mersen ofrece equipos de grafito ultrapuro útil para soportar los substratos y obleas. En el punto central del proceso, este equipo, los susceptores epitaxy o las plataformas de satélite para el MOCVD, se someten primero al entorno de sedimentación:

  • Alta temperatura
  • Alto vacío.
  • Uso de precursores gaseosos agresivos.
  • Cero contaminación, ausencia de peeling.
  • Resistencia a ácidos fuertes durante las operaciones de limpieza.

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